| 摘要 |
<p>본 발명은 폴리머 마이크로 탐침장치, 그 제작방법에 관한 것으로, 본 발명의 폴리머 마이크로 탐침장치는, 다수의 금속패드(111)가 마련되며, 일단에 돌출 형성된 캔틸레버(112)가 일체로 마련된 폴리머 재질의 몸체부(110)와; 상기 금속패드(111) 각각과 대응되어 전극 패턴으로 연결되며, 상기 캔틸레버(112)를 따라서 고정되어 선단이 상기 캔틸레버(112)의 외측으로 돌출 형성되어 시편과 접촉이 이루어지는 서로 독립 구동이 가능한 다수 개의 탐침(121)을 갖는 탐침부(120);를 포함한다.</p> |
