Verfahren zur Herstellung eines Bauteils

摘要

Bei dem Verfahren zur Herstellung eines Bauteils wird zunächst ein erster Schichtverbund erzeugt, der eine Strukturschicht und einen mit einem isolierenden Material gefüllten Graben umfasst. Die Strukturschicht ist mindestens in einem ersten Bereich elektrisch leitfähig. Der mit einem isolierenden Material gefüllte Graben erstreckt sich von einer ersten Oberfläche der Strukturschicht aus und ist in dem ersten Bereich der Strukturschicht angeordnet. Die erste Oberfläche der Strukturschicht ist einer ersten Oberfläche des ersten Schichtverbundes zugewandt. Weiterhin umfasst das Verfahren das Erzeugen eines zweiten Schichtverbundes, der eine erste Vertiefung in einer ersten Oberfläche des zweiten Schichtverbundes aufweist, und das Verbinden des ersten Schichtverbundes mit dem zweiten Schichtverbund. Dabei grenzt die erste Oberfläche des ersten Schichtverbundes zumindest in Bereichen an die erste Oberfläche des zweiten Schichtverbundes an, wobei der gefüllte Graben innerhalb der lateralen Position der ersten Vertiefung angeordnet wird. Nach dem Verbinden des ersten Schichtverbundes mit dem zweiten Schichtverbund wird die Dicke des ersten Schichtverbundes von einer zweiten Oberfläche des ersten Schichtverbundes aus bis zur Tiefe des gefüllten Grabens reduziert. Die zweite Oberfläche des ersten Schichtverbundes liegt der ersten Oberfläche des ersten Schichtverbundes gegenüber. Weiterhin umfasst das Verfahren das Erzeugen einer aktiven Struktur in der Strukturschicht, wobei die aktive Struktur zwei zweite Bereiche umfasst, die im ersten Bereich der Strukturschicht angeordnet und zwar mechanisch starr miteinander verbunden, aber durch den gefüllten Graben elektrisch voneinander isoliert sind.