发明名称 Erfassung einer Ausbreitungsrichtung eines optischen Strahls
摘要 Die Erfindung betrifft eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Ausbreitungsrichtung eines optischen Strahls. Die Erfassungseinrichtung weist einen Detektor auf, welcher mit dem optischen Strahl bestrahlbar ist. Die Erfassungseinrichtung weist eine dem Detektor vorgeschaltete fokussierende optische Einrichtung zum Fokussieren des optischen Strahls auf. Die Erfassungseinrichtung weist eine dem Detektor vorgeschaltete diffraktive optische Struktur zur Formung des optischen Strahls auf, so dass der auf den Detektor auftreffende optische Strahl eine Intensitätsverteilung mit einem Intensitätsmaximum aufweist, welches eine einen Bereich umschließende Form aufweist. Die Erfindung betrifft des Weiteren eine Vorrichtung mit einer solchen Erfassungseinrichtung.
申请公布号 DE102014203141(A1) 申请公布日期 2015.08.27
申请号 DE201410203141 申请日期 2014.02.21
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 BAUMER, FLORIAN
分类号 G01M11/00;G03F7/20 主分类号 G01M11/00
代理机构 代理人
主权项
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