| 摘要 |
マイクロリソグラフィ投影露光装置を作動させる方法において、ファセットミラー（７２）は、５ｎｍと３０ｎｍの間の中心波長を有する投影光（ＰＬ）で照明される。ファセットミラー（７２）は、複数の調節可能ミラーファセット（８６）を有し、隣接するミラーファセット（８６）の群は、光学ユニット（８３，７６，７８，８０）によって投影露光装置（１０）の投影対物系（２０）の物体平面（３０）上に結像される領域（８８）を形成する。そこでは、領域（８８）の像は、物体視野（８８’）内で重ね合わされる。物体視野（８８’）又はその一部に同一である照明視野（２４）は、投影光（ＰＬ）で照明される。結像される構造（１２）を含むマスク（１６）は、照明視野（２４）がマスク（１６）の上を走査するように投影対物系（２６）の物体平面（３０）内で移動される。本発明により、段階ｃ）中に、照明視野（２４）のサイズは、少なくとも１つのミラーファセット（８６）を調節することによって変更される。【選択図】図１０ |
