| 摘要 |
【課題】研磨中の板状ワークの厚さを正確に計測することにより、板状ワークを所望の厚さになるまで研磨し、研磨不足や研磨過多の発生を防ぐ。【解決手段】厚さ算出部５３が板状ワークの上面及び下面で反射した光の光路長差から板状ワークの厚さを算出するとともに、放射温度計５４１が板状ワークから放射される赤外光を受光して板状ワークの温度を測定し、放射温度計５４１が測定した温度を温度記憶部５４２が記憶する。厚さ補正部５５は、温度記憶部５４２が記憶した温度に基づいて板状ワークの屈折率を算出し、算出した屈折率に基づいて厚さ算出部５３が算出した厚さを補正する。このようにして板状ワークの厚さの測定と補正を行いながら板状ワークを研磨することで、板状ワークを所望の厚さになるまで研磨する。【選択図】図１ |
