SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, POSITION ERROR CORRECTING METHOD AND MEMORY MEDIUM

摘要

【課題】基板保持具に基板が保持されたときの基板保持具に対する基板の位置ずれの補正を可能とする。【解決手段】基板処理装置は、基板（Ｗ）を置くことができる第１置き場および第２置き場（１４Ｂ，１４２０）と、基板を保持する基板保持具（１３７）を有し、少なくとも第１置き場と第２置き場との間で基板を搬送することができる基板搬送装置（１３）と、基板保持具に保持された基板の位置を検出する基板位置測定部（１４１３）と、を備え、基板位置測定部は、基板搬送装置（１３）から独立した位置であって、かつ、基板搬送装置の基板保持具により基板を保持された基板を持ち込むことが可能な位置に設けられている。【選択図】図５