| 摘要 |
Микропучковый рентгенолитограф для использования в технологии изготовления рентгеношаблонов для глубокой рентгеновской литографии как инструмент формирования топологического рисунка в толстом слое рентгенорезиста, содержащий блок диафрагм, формирующий падающий на обрабатываемую подложку микропучок экспонирующего рентгеновского излучения, отличающийся тем, что блок диафрагм выполнен в виде рентгеношаблона с набором диафрагм, установленного на независимо перемещаемом автоматизированном координатном прецизионном микростолике на пути пучка излучения, в плоскости, параллельной облучаемой подложке с резистом, в непосредственной близости перед ней. |
