发明名称 |
LIGHT EMITTING DEVICE MANUFACTURING METHOD |
摘要 |
【課題】低コストかつ簡便な方法でスループットの高い発光装置の作製方法を提供する。【解決手段】基板を有し、基板よりも上方に発光素子を有し、発光素子は薄膜を有する発光装置の作製方法であって、ノズルから溶液107a〜107cが出て、被処理面に溶液が塗布され、基板の下方から被処理面にランプの光が照射され、溶液が焼成され、薄膜110a〜110cが形成される工程を有し、工程は、基板が固定された状態で行われ、工程は、ノズルが移動しながら行われ、工程は、ランプが移動しながら行われる発光装置の作製方法。【選択図】図1 |
申请公布号 |
JP2015156379(A) |
申请公布日期 |
2015.08.27 |
申请号 |
JP20150037873 |
申请日期 |
2015.02.27 |
申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI;HAMADA TAKASHI;SEO TETSUSHI |
分类号 |
H05B33/10;H01L51/00;H01L51/40;H01L51/50;H01L51/56 |
主分类号 |
H05B33/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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