发明名称 LIGHT EMITTING DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要 【課題】低コストかつ簡便な方法でスループットの高い発光装置の作製方法を提供する。【解決手段】基板を有し、基板よりも上方に発光素子を有し、発光素子は薄膜を有する発光装置の作製方法であって、ノズルから溶液107a〜107cが出て、被処理面に溶液が塗布され、基板の下方から被処理面にランプの光が照射され、溶液が焼成され、薄膜110a〜110cが形成される工程を有し、工程は、基板が固定された状態で行われ、工程は、ノズルが移動しながら行われ、工程は、ランプが移動しながら行われる発光装置の作製方法。【選択図】図1
申请公布号 JP2015156379(A) 申请公布日期 2015.08.27
申请号 JP20150037873 申请日期 2015.02.27
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI;HAMADA TAKASHI;SEO TETSUSHI
分类号 H05B33/10;H01L51/00;H01L51/40;H01L51/50;H01L51/56 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
主权项
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