| 摘要 |
<p>본 발명은 여과장치에 내장된 필터엘리먼트의 세정을, 역세정용 압축공기공급원, 역세정용 펌프 등을 사용하지 않고, 간단한 구성 및 조작으로 수행하는 것이 가능한 액체저류장치의 여과장치를 제공하고자 한다. 본 발명은, 공업용 액체를 저류하기 위한 저류탱크(10)와, 액체저류탱크에 설치된 공급용 펌프(11)를 구비하는 여과장치이다. 여과장치는, 공업용 액체를 이차여과한 공업용 액체로 하기 위한 필터엘리먼트가 내장되어 있는 필터장치(20)와, 필터장치본체 내의 공업용 액체를 필터장치 외부로 배출하기 위한 드레인부(21d)와, 필터장치의 출구 측에서 작업부윛(Wa)로 공업용 액체를 공급하기 위한 제2유통회로(25)의 개폐를 수행하기 위한 제1개폐밸브(26)와, 필터장치의 드레인부에서 액체저류탱크로 환류시키기 위한 드레인회로(27)와, 드레인회로의 개폐를 수행하기 위한 제23개폐밸브(28)로 구성되어 있다.</p> |
