| 摘要 |
<p>【課題】イオン破砕（ｉｏｎ ｓｐａｌｌａｔｉｏｎ）、熱化学処理、活性化、グラフティング、ストリッピング等のような様々なタイプの表面処理を実行するために真空筐体内においてコールドプラズマを生成する装置及び熱化学処理に対する該装置の使用を提供する。【解決手段】本装置が、プラズマを閉じ込めるための中空チャンバ１ａを有するカソード１を備える。磁石２が、各中空チャンバ１ａの周囲に配置され、かつ力線周りに電子を回転させる磁場を形成するために適し、カソード１本体が、各中空チャンバ１ａにおいて強いイオン衝撃によって生成された熱を取り出すための冷却媒体を循環させるために適した素子３と連携する。【選択図】図１</p> |
