CONTROL METHOD, AND SUBSTRATE TREATMENT DEVICE

摘要

【課題】制御コントローラと制御対象となる処理ブロックとの関係を動的に変更でき、制御コントローラの設定作業を軽減できる制御方法および基板処理装置を提供する。【解決手段】この基板処理装置１は、複数の処理ブロック１０と、処理ブロック１０を制御する複数の制御コントローラ３０と、複数の制御コントローラ３０を統括するメインコントローラ４０と、を備えている。制御コントローラ３０と、制御対象となる処理ブロック１０との関係は、固定されていない。メインコントローラ４０は、送信要求に応じて、制御コントローラ３０へ、アドレスを所定の順序に従って送信する。これにより、当該制御コントローラ３０が担当する処理ブロック１０が決定される。このため、各制御コントローラ３０に、状況に応じて異なる処理ブロック１０の制御を担当させることができる。また、基板処理装置１の立ち上げ時における制御コントローラ３０の設定作業を軽減できる。【選択図】図２