发明名称 |
球形粉体材料真空雾化悬浮均匀溅射镀膜方法 |
摘要 |
本发明公开了球形粉体材料真空雾化悬浮均匀溅射镀膜方法,将球形粉体置于真空雾化罐中,真空雾化罐内设置有阴极溅射靶材和阳极体,在真空环境下,通过电场或磁场加速的高能粒子撞击阴极溅射靶材表面时,靶材表面的原子分子和高能粒子进行动量交换,从而使靶材原子或者分子从靶材表面飞溅出来,并且具备一定的能量,碰撞到雾化悬浮在真空中的球形粉体,从而实现球形粉体上的薄膜沉积。本发明能生产耐高低温、耐高压、耐潮湿、耐腐蚀、抗氧化等功能的,具有性能优良,满足不同要求的,具有特殊功能的高性能球形粉体材料,以及球形金属粉体的抗氧化表面功能化处理。 |
申请公布号 |
CN103436848B |
申请公布日期 |
2015.08.26 |
申请号 |
CN201310355528.6 |
申请日期 |
2013.08.15 |
申请人 |
蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司 |
发明人 |
彭寿;张家林;王芸;彭小波;王华文 |
分类号 |
C23C14/34(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01)I |
代理机构 |
安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 |
代理人 |
李浩 |
主权项 |
球形粉体材料真空雾化悬浮均匀溅射镀膜方法,其特征在于:将球形粉体(8)置于真空雾化罐中,真空雾化罐内设置有阴极溅射靶材(5)和阳极体(11),在真空环境下,通过电场或磁场加速的高能粒子撞击阴极溅射靶材(5)表面时,靶材表面的原子分子和高能粒子进行动量交换,从而使靶材原子或者分子从靶材表面飞溅出来,并且具备一定的能量,碰撞到雾化悬浮在真空中的球形粉体(8),从而实现球形粉体(8)上的薄膜沉积;所述真空雾化罐包括罐体和安装在罐体上的镀膜气体管(3)和抽真空装置(10),所述罐体由圆柱形罐身和圆锥形罐底组成,圆柱形罐身内设置的过滤网(6)将其分成两个腔体,阴极溅射靶材(5)和阳极体(11)对称安装在过滤网(6)上 ;圆锥形罐底设置有球形粉体雾化悬浮器(7)以及安装在其上的雾化悬浮量控制装置(15);所述圆柱形罐身的顶部中心设置有进料端口(20),在进料端口(20)上设置有进料端真空密封板(18)和真空密封圈(19),在圆锥形罐底设置有放料端口(17),在放料端口(17)设置有放料端真空密封板(16)。 |
地址 |
233010 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号 |