发明名称 |
集成驱动电阻的DMOS器件及其制作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种集成驱动电阻的DMOS器件及其制作方法,涉及半导体技术领域,所述DMOS器件包括:栅端口、驱动电阻和若干DMOS单元,每个DMOS单元均包括栅极,所述栅端口与所述驱动电阻的一端连接,所述驱动电阻的另一端与每个DMOS单元的栅极分别连接。本发明通过在DMOS器件中设置栅端口的驱动电阻,降低了DMOS单元的开关速度,并抑制了高频振荡。 |
申请公布号 |
CN104867972A |
申请公布日期 |
2015.08.26 |
申请号 |
CN201410058147.6 |
申请日期 |
2014.02.20 |
申请人 |
北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
发明人 |
蔡远飞;何昌;姜春亮 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
李迪 |
主权项 |
一种集成驱动电阻的DMOS器件,其特征在于,所述DMOS器件包括:栅端口、驱动电阻和若干DMOS单元,每个DMOS单元均包括栅极,所述栅端口与所述驱动电阻的一端连接,所述驱动电阻的另一端与每个DMOS单元的栅极分别连接。 |
地址 |
100871 北京市海淀区成府路298号方正大厦 |