用于流体分配阀的光电检查质量保证系统

摘要

描述了一种光电检查系统，可用于流体分配阀的质量保证测定，所述流体分配阀如被安装在流体存储和分配容器上，以及描述了相关联的方法和非暂态计算机可读介质，所述非暂态计算机可读介质存储用于这样的质量保证测定的机器可执行指令。所述光电检查适用于流体存储和分配封装件上所使用的流量控制阀，所述流体存储和分配封装件包括基于物理吸收和/或压力调节的容器，诸如被用于供应在半导体产品、平板显示器以及太阳能板的制造中使用的过程流体。

主权项

一种用于测定阀结构的可接受性的光电检查系统，包括：一个检查站，适于定位所述阀结构以用于光电成像；一个光源，被布置以使光照射在所述阀结构上；一个相机/透镜组件，被布置以接收由所述阀结构和从所述光源照射在所述阀结构上的光的相互作用引起的光，并且作为响应生成一个光电成像输出；一个中央处理单元，被布置以接收来自所述相机/透镜组件的所述光电成像输出，并且作为响应生成一个指示所述阀结构是否满足预定的可接受性标准的检查输出。