一种一次性完成的拉晶炉

摘要

本实用新型涉及半导体致冷件生产技术领域的设备，名称是一种一次性完成的拉晶炉，包括炉体，炉体具有炉腔，在炉腔内有放置拉晶管的卡件，还有加热体，加热体移动可以对拉晶管进行加热，所述的加热体是空芯圆柱形的结构，加热体包括多个加热件，相邻的加热件中间是冷却圈，所述的冷却圈中间是中空结构，中空结构外面连通循环冷却液，所述的冷却圈和加热体之间有隔热材料隔断，所述的多个加热体从前至后的加热温度是依次升高的，所述的多个加热体从前至后的加热温度依次升高5—7℃，具有拉晶效果好、使用方便、一次就可以完成的优点。

主权项

一种一次性完成的拉晶炉，包括炉体，炉体具有炉腔，在炉腔内有放置拉晶管的卡件，还有加热体，加热体移动可以对拉晶管进行加热，其特征是：所述的加热体是空芯圆柱形的结构，加热体包括多个加热件，相邻的加热件中间是冷却圈，所述的冷却圈中间是中空结构，中空结构外面连通循环冷却液，所述的冷却圈和加热体之间有隔热材料隔断。