承物台、误差补偿测量装置及误差补偿方法

摘要

本发明涉及承物台、误差补偿测量装置及误差补偿方法，所述误差补偿测量装置包括承物台、激光器、第一多轴激光干涉仪、第二多轴激光干涉仪、第一单轴差分激光干涉仪、第二单轴差分激光干涉仪以及光学镜组；所述第一多轴激光干涉仪设置在所述本体靠近所述第二反射面的一侧，所述第二多轴激光干涉仪设置在所述本体靠近所述第一反射面的一侧，所述第一单轴差分激光干涉仪设置在所述本体靠近所述第三反射面的一侧，所述第二单轴差分激光干涉仪设置在所述本体靠近所述第四反射面的一侧；所述光学镜组将所述激光器发射的光束分成多束，并分别射入所述第一多轴激光干涉仪、第二多轴激光干涉仪、第一单轴差分激光干涉仪和第二单轴差分激光干涉仪。

主权项

一种承物台，其特征在于，包括本体、第一长条反射镜和第二长条反射镜；所述本体设有第一反射面、第二反射面、第三反射面和第四反射面，所述第一反射面、第二反射面、第三反射面和第四反射面依次首尾相连；所述第一长条反射镜设置在所述第一反射面上，靠近所述第一反射面的一边，且突出在所述第一反射面外，所述第二长条反射镜设置在所述第二反射面上，靠近所述第二反射面的一边，且突出在所述第二反射面外，且与所述第一长条反射镜相邻；所述第一长条反射镜的反射面平行于所述第三反射面，且与所述第三反射面的朝向相同；所述第二长条反射镜的反射面平行于所述第四反射面，且与所述第四反射面的朝向相同。