制造有机发光显示装置的方法

摘要

本发明公开制造有机发光显示装置的方法：a)在基板上形成栅电极；b)在包括栅电极的基板上形成栅绝缘层；c)在栅绝缘层上形成有源层；d)在有源层上形成绝缘层；e)在绝缘层上形成与有源层接触的源电极和漏电极；f)在绝缘层上形成钝化层以覆盖源电极和漏电极；和g)形成与源电极和漏电极之一电气连接的有机发光元件，其中步骤a)包括形成铝、钼或银的金属层、或其层压层，用蚀刻剂组合物蚀刻金属层以形成栅电极，蚀刻剂组合物包括按重量百分比计50％至70％的磷酸、2％至15％的硝酸、5％至20％的乙酸、0.1％至5％的对甲苯磺酸和余量的水，因此，可以同时蚀刻形成栅电极和像素电极的金属层，达到优异的蚀刻效果且以提高的工艺效率制造有机发光显示装置。

主权项

一种制造有机发光显示装置的方法，包括：a)在基板上形成栅电极；b)在包括所述栅电极的所述基板上形成栅绝缘层；c)在所述栅绝缘层上形成有源层；d)在所述有源层上形成绝缘层；e)在所述绝缘层上形成源电极和漏电极，所述源电极和所述漏电极与所述有源层接触；f)在所述绝缘层上形成钝化层，以覆盖所述源电极和所述漏电极；以及g)形成有机发光元件，所述有机发光元件电气连接到所述源电极和所述漏电极中的一者，其中，步骤a)包括形成铝金属层、钼金属层或银金属层、或它们的层压层，然后用蚀刻剂组合物蚀刻所形成的金属层以形成所述栅电极，所述蚀刻剂组合物包括50重量％至70重量％的磷酸、2重量％至15重量％的硝酸、5重量％至20重量％的乙酸、0.1重量％至5重量％的对甲苯磺酸、以及余量的水。