任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板系统及其方法

摘要

本发明公开一种任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板系统及其方法，包括一真空室，所述真空室内具有位于其中的M组荫罩板和沉积源；一基板，具有M个基本单元，每一基本单元均一致性地被分割为四个区域；一荫罩板和沉积源的传动装置，用于使所述M组荫罩板和沉积源同时在四个不同时间里且在所述真空室内依次进行平移，该M组荫罩板和沉积源分别依次对应于M个基本单元中每一基本单元的四个不同区域；其中，M为大于1的自然数。本发明具有能简化整个沉积系统、移动次数少以及能控制沉积材料的功效。

主权项

一种任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板系统，其特征在于，包括：一真空室，所述真空室内具有位于其中的M组荫罩板和沉积源；一基板，具有M个基本单元，每一基本单元均一致性地被分割为四个区域；一荫罩板和沉积源的传动装置，用于使所述M组荫罩板和沉积源同时在四个不同时间里且在所述真空室内依次进行平移，该M组荫罩板和沉积源分别依次对应于M个基本单元中每一基本单元的四个不同区域；其中，M为大于1的自然数。