一种多层复合结构声表面波器件基底

摘要

本发明涉及一种多层复合结构声表面波器件基底，所述基底包括衬底、用于声表面波器件的电极、氧化物薄膜和压电薄膜，所述衬底、用于声表面波器件的电极和压电薄膜由下至上依次叠加设置，所述用于声表面波器件的电极包括多个间隔设置的金属电极，所述氧化物薄膜填充在相邻金属电极间的沟槽中；所述压电薄膜淀积在平坦的氧化物薄膜顶层表面或电极和填充氧化物薄膜交替间隔组成的平坦表面。与现有技术相比，本发明结构解决了具有埋入式电极的压电薄膜裂纹问题，容易制备并且具有高频、高机电耦合系数以及较好的温度补偿等优点。

主权项

一种多层复合结构声表面波器件基底，其特征在于，包括衬底、用于声表面波器件的电极、氧化物薄膜和压电薄膜，所述衬底、用于声表面波器件的电极和压电薄膜由下至上依次叠加设置，所述用于声表面波器件的电极包括多个间隔设置的金属电极，所述氧化物薄膜填充在相邻金属电极间的沟槽中，所述压电薄膜淀积在平坦的氧化物薄膜顶层表面或电极和填充氧化物薄膜交替间隔组成的平坦表面。