发明名称 方形脉冲激光剥离技术
摘要 一种激光剥离方法包括:生成多个固态激光脉冲;将所述多个固态激光脉冲变换为紫外频率;在形状上将所述多个激光脉冲在垂直横向轴上的横向空间强度曲线调节为矩形,其中,沿着每个横向轴的形状对应于八阶或更高阶的超高斯;并且将所述多个激光脉冲沿着平行于所述横向轴中的一个的方向在目标上进行扫描,以便在所述目标上产生激光剥离。还公开了一种用于激光剥离的系统。
申请公布号 CN104858544A 申请公布日期 2015.08.26
申请号 CN201510136010.2 申请日期 2015.02.26
申请人 恩耐激光技术有限公司 发明人 R·J·马丁森
分类号 B23K26/00(2014.01)I 主分类号 B23K26/00(2014.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 李光颖;王英
主权项 一种激光剥离方法,包括:生成多个固态激光脉冲;将所述多个固态激光脉冲变换为紫外频率;在形状上将所述多个激光脉冲在垂直横向轴上的横向空间强度曲线调节为矩形,其中,沿着每个横向轴的形状对应于八阶或更高阶的超高斯;并且将所述多个激光脉冲沿着平行于所述横向轴中的一个的方向在目标上进行扫描,以便在目标上产生激光剥离。
地址 美国华盛顿