主权项 |
一种回收蓝宝石衬底的方法,其特征在于,该方法包括步骤如下:取废外延片、第一次高温烘烤、第一次清洗、第二次高温烘烤、第二次清洗、循环N个周期。(1)取废外延片,领取废外延片,核对晶片数目,并检查晶片是否完整;(2)第一次高温烘烤,将废外延片放入高温烘烤炉内进行第一次高温烘烤,烘烤时间为2‑15小时,烘烤温度为800‑1800℃,烘烤室内气氛为氮气和氢气的混合气,其中,氢气所占的体积比为0%‑20%;(3)第一次清洗,经过上述步骤(2)烘烤后的外延片,进行第一次清洗,所述第一次清洗的腐蚀液为浓酸和双氧水的混合液,浓酸的浓度为70%‑98%,浓酸和双氧水的混合比在1∶10‑5∶2之间,腐蚀时间为5‑25分钟;(4)第二次高温烘烤,经过上述步骤(3)第一次清洗后的外延片再放入高温烘烤炉内进行第二次高温烘烤,烘烤时间为1‑16小时,烘烤温度为800‑2000℃,烘烤室内气氛为氮气和氨气,其中,氨气所占的体积比为0%‑15%;(5)第二次清洗,经过步骤(4)第二次高温烘烤后的外延片,再进行第二次清洗,清洗的腐蚀液为浓酸和双氧水的混合液以及碱和双氧水的混合液,先用腐蚀液为浓酸和双氧水的混合液清洗,其中浓酸的浓度为75%‑98%,浓酸和双氧水的混合比在2∶15‑5∶2之间,腐蚀时间为5‑25分钟;再用碱和双氧水的混合液清洗,其中碱液的浓度为57%‑89%,碱液和双氧水的混合比在1∶3‑2∶1之间,腐蚀时间不少于2分钟;(6)检验外延片表面,包括目检和镜检,对经上述处理的外延片进行形貌检验,如果不存在残留杂质,则分类入库使用;如果仍存在残留氮化镓等杂质,则从第一次高温烘烤或第二次高温烘烤开始循环重复,直至达到衬底的生长标准。 |