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摘要
申请公布号
JP5770236(B2)
申请公布日期
2015.08.26
申请号
JP20130192517
申请日期
2013.09.18
申请人
发明人
分类号
G09F9/30;H01L21/336;H01L27/32;H01L29/786;H01L51/50
主分类号
G09F9/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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