可调变角度的镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种可调变角度的镀膜装置，用于放置待镀基材，此可调变角度的镀膜装置包含基材载具、自转模块以及倾角调变模块。其中基材载具包含载面。自转模块包含中轴与转动马达。中轴连接基材载具，且中轴的延伸方向与载面的延伸方向相交夹角。转动马达连动中轴而使基材载具自转。倾角调变模块则包含具有升降套座的升降件与升降马达。其中升降套座可位移地套接中轴，令升降件受限平行于中轴的延伸方向位移。升降马达带动升降件位移而连动基材载具，致使夹角调变。根据本实用新型的可调变角度的镀膜装置，其可在工艺的过程中即时调整夹角，并同时让基材载具自转与公转。

主权项

一种可调变角度的镀膜装置，用于放置至少一个待镀基材，其特征在于，所述可调变角度的镀膜装置包含：至少一个基材载具，其包含载面；自转模块，其包含：中轴，其连接所述基材载具，所述中轴的延伸方向与所述载面的延伸方向相交有夹角；及转动马达，其连动所述中轴而使所述基材载具自转；以及倾角调变模块，其包含：具有升降套座的至少一个升降件，所述升降套座可位移地套接所述中轴，令所述升降件在平行于所述中轴的延伸方向位移受到限制，且所述升降件连接所述基材载具；及升降马达，其带动所述升降件位移而连动所述基材载具，致使所述夹角调变。