玻璃基板的紫外光清洗装置

摘要

本发明提供一种玻璃基板的紫外光清洗装置，包括：灯箱、置于灯箱内上方的紫外光灯、置于紫外光灯下方的透明防护罩、置于透明防护罩下方的加湿器、及置于透明防护罩下方与加湿器相对设置的强力排风装置；使用时，玻璃基板被传送至灯箱内，紫外光灯发出的紫外光透过防护罩照射于玻璃基板上，对玻璃基板进行清洗，并通过加湿器调节灯箱内部的湿度和氧含量，使玻璃基板表面吸附一层水分子，紫外光干式清洗时产生的电子可通过水分子逐渐传导泄露，可有效抑制静电的积累，减少静电击伤现象，同时氧含量的增加使灯箱内氧活性原子浓度也随之增加，从而提高了紫外光清洗有机物的效果。

主权项

一种玻璃基板的紫外光清洗装置，其特征在于，包括：灯箱(1)、置于灯箱(1)内上方的紫外光灯(2)、置于紫外光灯(2)下方的透明防护罩(3)、置于所述透明防护罩(3)下方的加湿器(4)、及置于所述透明防护罩(3)下方与所述加湿器(4)相对设置的强力排风装置(5)；使用时，玻璃基板(6)被传送至所述灯箱(1)内，所述紫外光灯(2)发出的紫外光透过所述防护罩(3)照射于玻璃基板(6)上，对所述玻璃基板(6)进行清洗，并通过所述加湿器(4)调节所述灯箱(1)内部的湿度和氧含量。