| 发明名称 | 太阳能晶硅电池扩散工艺 | ||
| 摘要 | 本发明涉及太阳能电池生产领域，具体是一种太阳能晶硅电池扩散工艺。步骤一、扩散，将硅片放入扩散炉中，保持载舟温度为700-780℃，以2-10℃/min的速率升温至720-790℃进行扩散，按照氮气流量10L/min、三氯氧磷流量1400ml/min、氧气流量180ml/min的标准进行扩散，时间为8min；步骤二、推进一，以787℃为基础温度，按照6℃/min的速率升温至847℃，开始推进工艺，保持氮气流量为15L/min，推进10min；步骤三、推进二，以847℃为基础温度，以6℃/min的速率降温至750℃，推进30min，保持氧气流量为200ml/min；本发明在提高了扩散的均匀性的同时，减小方阻波动范围，提高太阳能电池的转换效率。 | ||
| 申请公布号 | CN104868013A | 申请公布日期 | 2015.08.26 |
| 申请号 | CN201510175303.1 | 申请日期 | 2015.04.15 |
| 申请人 | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 | 发明人 | 刘进;张广强;张之栋;郭卫;崔龙辉 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/225(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人 | 李富元 |
| 主权项 | 太阳能晶硅电池扩散工艺，其特征在于按照如下的步骤进行：步骤一、扩散，将硅片放入扩散炉中，保持载舟温度为700‑780℃，以2‑10℃/min的速率升温至720‑790℃进行扩散，按照氮气流量10L/min、三氯氧磷流量1400ml/min、氧气流量180ml/min的标准进行扩散，时间为8min；步骤二、推进一，以787℃为基础温度，按照6℃/min的速率升温至847℃，开始推进工艺，保持氮气流量为15L/min，推进10min；步骤三、推进二，以847℃为基础温度，以6℃/min的速率降温至750℃，推进30min，保持氧气流量为200ml/min；步骤四、让扩散炉自然冷却后取出硅片。 | ||
| 地址 | 046000 山西省长治市郊区漳泽新型工业园区 | ||