一种红外反射透光镀膜玻璃的制备方法

摘要

本发明属于复合材料制备技术领域，具体涉及一种红外反射透光镀膜玻璃的制备方法；本发明将玻璃基片依次经过预处理-装夹-镀膜-降温降压的制备方法制得所述红外反射透光镀膜玻璃；本发明主要采取逐级升温增大真空度，和镀膜完毕后逐级降温减小真空度的处理方法，该方法不仅工艺简单、操作易控，而且制得的镀膜玻璃可见光透光率＞90％、红外光反射率＞80％。

主权项

一种红外反射透光镀膜玻璃的制备方法，其特征在于，包括如下工序步骤：S1、预处理：将玻璃基板进行清洗烘干；S2、装夹：将清洗烘干后的玻璃基板，装到载玻架上；S3、真空镀膜：载有玻璃基板的载玻架依次连续传动，经过多个真空室，最终得到红外反射透光镀膜玻璃；具体如下：S31、平衡大气压，将载有玻璃基板的载玻架传送到真空度为10^‑1Pa第一真空室；S32、第一次加热，将由S31传过来的玻璃基片在第二真空室内进行加热到100℃，所述第二真空室内的真空度为10^‑2～10^‑3Pa；S33、第二次加热，将由S32传过来的玻璃基片于在第三真空室内进一步加热到200℃～250℃，所述第三真空室内的真空度为10^‑2～10^‑3Pa；S34、镀膜，将由S33传过来的玻璃基片于在第四真空室内进行磁控溅射镀膜，所述第四真空室内充满氩气和氧气，室内温度为200℃～250℃，所述靶材为ITO膜；S35、降温降压，将由S34传过来的玻璃基片于在后续真空室内，进行降温降压，出真空室得到所述红外反射透光镀膜玻璃。