| 发明名称 | 合成物、压印墨和压印方法 | ||
| 摘要 | 所公开的是一种用于形成用于压印光刻应用的压印墨的基于硅烷的合成物，其中合成物中的硅烷的交联通过包括化学式3的化合物来压制：化学式3：<img file="dest_path_image001.GIF" wi="172" he="69" />其中R<sub>9</sub>选自包括C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>线性或支化烷基和苯基的组，并且其中n为具有至少为2的值的正整数。墨可以通过向合成物添加PAG、光引发剂或TAG使得在其激活时交联反应完成来形成。还公开了使用10这样的墨的压印方法。 | ||
| 申请公布号 | CN104870576A | 申请公布日期 | 2015.08.26 |
| 申请号 | CN201380067330.6 | 申请日期 | 2013.12.13 |
| 申请人 | 皇家飞利浦有限公司 | 发明人 | M.A.维斯楚伦;R.范布拉克 |
| 分类号 | C09D11/02(2014.01)I;C08L83/04(2006.01)I;C08L83/06(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | C09D11/02(2014.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 孙之刚;景军平 |
| 主权项 | 一种用于形成压印墨的合成物，所述合成物包括：‑ 以下的经溶解的缩合产物： 化学式1的第一硅烷化合物和化学式2的第二硅烷化合物中的至少一个；以及 化学式3的化合物：化学式1<img file="dest_path_image001.GIF" wi="125" he="97" />化学式2<img file="649960dest_path_image002.GIF" wi="137" he="97" />；以及化学式3<img file="dest_path_image003.GIF" wi="172" he="69" />其中R<sub>1</sub>‑R<sub>9</sub>各自选自包括C<sub>1</sub>‑C<sub>6</sub>线性或支化烷基和苯基的组，并且其中n为具有至少为2的值的正整数；合成物还包括：使得合成物具有在3‑5的范围中的pH的质子酸；以及包括伯醇或仲醇和水的有机溶剂系统。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||