提高启动工序效率的气体激光装置

摘要

本发明涉及一种提高启动工序效率的气体激光装置，具备：容器，其封装有激光气体；激光振荡器，其使激光振荡；压力检测部，其检测容器内的气体压力；排气部，其排出容器内的气体；供气部，其向容器内供给激光气体；压力存储部，其被构成为即使电源被切断也保持存储信息，存储通过压力检测部检测出的压力；比较部，其将气体激光装置紧急停止时的容器内的气体压力和紧急停止后再启动时的容器内的气体压力进行比较；判定部，其根据比较部的比较结果判定是否应该执行容器内的气体的排出和向容器内的激光气体的供给。

主权项

一种气体激光装置，具备封装有激光气体的容器和将激光气体作为激发介质使激光振荡的激光振荡器，该气体激光装置的特征在于，具备：压力检测部，其检测上述容器内的气体的压力；排气部，其排出上述容器内的气体；供气部，其向上述容器内供给激光气体；压力存储部，其即使电源被切断也保持存储信息，存储通过上述压力检测部检测出的上述压力；比较部，其将通过上述压力存储部存储的在该气体激光装置紧急停止时的上述容器内的气体压力和通过上述压力检测部检测出的在紧急停止后再启动该气体激光装置时的上述容器内的气体压力进行比较；判定部，其根据上述比较部的比较结果，判定是否应该执行上述容器内的气体的排出和向上述容器内的上述激光气体的供给。