光栅位置的测量方法

摘要

本发明提供了一种光栅位置的测量方法，包括：提供一光刻版模板，所述光刻版模板具有刻度尺标记图案；使用所述光栅与所述光刻版模板对一测试样品进行光刻工艺，以在所述测试样品上形成与所述刻度尺标记图案对应的刻度尺标记；将所述刻度尺标记的边缘的刻度与一标准刻度进行比较，以确定光栅位置是否正常。在本发明提供的光栅位置的测量方法中，通过光刻工艺，将所述光刻版模板上的刻度尺标记图案转移到所述测试样品上，使得所述测试样品上具有所述刻度尺标记。通过将所述刻度尺标记的边缘的刻度与所述标准刻度进行比较，可以明确判断光栅位置是否合适，也可以知道光栅位置还有多少移动范围。

主权项

一种光栅位置的测量方法，其特征在于，包括：提供一光刻版模板，所述光刻版模板具有刻度尺标记图案；使用光栅与所述光刻版模板对一测试样品进行光刻工艺，以在所述测试样品上形成与所述刻度尺标记图案对应的刻度尺标记；将所述刻度尺标记的边缘的刻度与一标准刻度进行比较，以确定所述光栅的位置是否正常；其中，将所述刻度尺标记的边缘的刻度与一标准刻度进行比较的步骤包括：根据所述光栅以及所述光刻版模板设定所述标准刻度；对所述刻度尺标记的边缘的刻度进行读数；若所述刻度尺标记的边缘的刻度在所述标准刻度的范围之内，则所述光栅位置正常；若所述刻度尺标记的边缘的刻度不在所述标准刻度的范围之内，则所述光栅位置不正常。