用于产生高频功率的方法和具有用于给负载供送功率的功率转换器的功率供送系统

摘要

一种具有功率转换器(3，30)的功率供送系统(2，20)，所述功率转换器产生高频信号，且能够连接到负载(6)以给等离子体或气体激光器处理供送功率，其中，所述功率转换器具有至少第一放大器路径(31)，通过DAC(41)由数字信号产生的音频信号被供送到至少一个放大器路径(31-36)，其特征在于，用于产生供送到DAC的数字信号的逻辑电路单元(42)设置在DAC的上游，所述逻辑电路单元具有：信号数据存储器(61)，用于产生模拟信号形式的信号数据值存储在所述信号数据存储器中，幅度数据存储器(62)，用于影响模拟信号的幅度的幅度数据值存储在所述幅度数据存储器中，倍增器(63)，其用于使信号数据值乘以幅度数据值。在一种用于产生能够供送到负载的高频功率的方法中，模拟信号由DAC产生且在放大器路径(31-36)中放大，模拟信号的幅度被调制。

主权项

一种具有功率转换器(3，30)的功率供送系统(2，20)，所述功率转换器产生高频信号且能够连接到负载(6)以给等离子体或气体激光器处理供送功率，其中，所述功率转换器(3，30)具有至少一个第一放大器路径(31)，其中，通过数模转换器(DAC)(41)由数字信号产生的模拟信号被供送到所述至少一个放大器路径(31‑36)，其特征在于，用于产生被供送到DAC(41)的数字信号的逻辑电路单元(42)设置在DAC的上游，其中，所述逻辑电路单元(42)具有：a.信号数据存储器(61)，用于产生模拟信号形式的信号数据值存储在所述信号数据存储器中，b.幅度数据存储器(62)，用于影响模拟信号的幅度的幅度数据值存储在所述幅度数据存储器中，c.倍增器(63)，其用于使信号数据值乘以幅度数据值。