一种晶体吸盘装置

摘要

本实用新型公开了一种晶体吸盘装置，包括吸盘体、吸孔、导气槽及环形吸槽，其中，上述吸盘体为圆柱体结构，吸孔设置在吸盘体上，并贯穿吸盘体；上述环形槽包括至少二个，各环形槽间隔设置在吸盘体的顶面，并向下凹陷，形成晶体吸附面，以便吸附晶体；上述导气槽设置在吸盘体的顶面，导气槽连接吸孔及环形吸槽，吸孔连接外设的真空发生器及气泵，以便将吸附面上的空气走，形成负压。本实用新型结构简单，使用方便快捷，吸附稳定牢固。

主权项

一种晶体吸盘装置，其特征在于：包括吸盘体（1）、吸孔（2）、导气槽（3）及环形吸槽（4），其中，上述吸盘体（1）为圆柱体结构，吸孔（2）设置在吸盘体（1）上，并贯穿吸盘体（1）；上述环形槽（4）包括至少二个，各环形槽（4）间隔设置在吸盘体（1）的顶面，并向下凹陷，形成晶体吸附面，以便吸附晶体；上述导气槽（3）设置在吸盘体（1）的顶面，导气槽（3）连接吸孔（2）及环形吸槽（4），吸孔（2）连接外设的真空发生器及气泵，以便将吸附面上的空气走，形成负压。