| 发明名称 | 连接加热件和接触板的接触装置和具有该装置的加热设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于电气和机械连接用来加热CVD反应器(1)的基座(5)的加热设备(6)的加热件(10)与供电元件(36)的装置，所述装置具有用于与所述加热件(10)相连的头部(12)、用于与接触件(36)相连的支脚(24)和布置在所述头部(12)与支脚(24)之间的杆部(21)。为了减小温度梯度建议，所述杆部(21)至少局部具有比所述头部(12)更小的横截面，从而使所述杆部(21)内的单位长度的电阻大于所述头部(1)内的单位长度的电阻。本实用新型还涉及一种用于加热CVD反应器的基座的加热设备，其加热件借助至少一个连接器与供电元件(36)相连。 | ||
| 申请公布号 | CN204589299U | 申请公布日期 | 2015.08.26 |
| 申请号 | CN201420716860.0 | 申请日期 | 2014.11.25 |
| 申请人 | 艾克斯特朗欧洲公司 | 发明人 | K.艾伦;P-A.博丁;O.费龙;P.S.劳弗;M.E.奥本 |
| 分类号 | C23C16/46(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 侯宇 |
| 主权项 | 一种用于电气和机械连接用来加热CVD反应器(1)的基座(5)的加热设备(6)的加热件(10)与供电元件(36)的装置，所述装置具有用于与所述加热件(10)相连的头部(12)、用于与接触件(36)相连的支脚(24)和布置在所述头部(12)与支脚(24)之间的杆部(21)，其特征在于，所述杆部(21)至少局部具有比所述头部(12)更小的横截面，从而使所述杆部(21)内的单位长度的电阻大于所述头部(1)内的单位长度的电阻。 | ||
| 地址 | 德国黑措根拉特 | ||