发明名称 除湿系统
摘要 设置干燥腔(S2),并设置主除湿单元(40)和终端除湿单元(50),能够实现干燥无尘室用除湿系统(10)的节能化和低成本化,其中,湿度低于供往干燥无尘室(S1)的空气湿度的空气被供往干燥腔(S2),上述主除湿单元(40)将空气供往干燥无尘室(S1),上述终端除湿单元(50)对从干燥无尘室(S1)供往干燥腔(S2)的空气进行处理。
申请公布号 CN104870907A 申请公布日期 2015.08.26
申请号 CN201380066244.3 申请日期 2013.12.11
申请人 大金工业株式会社;株式会社大金应用系统 发明人 中山浩;夏目敏幸;藤田尚利;大久保英作;松井伸树
分类号 F24F3/14(2006.01)I 主分类号 F24F3/14(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 胡晓萍
主权项 一种除湿系统,包括将除湿空气供往干燥无尘室(S1)的除湿装置(40、50),上述除湿系统的特征在于:上述除湿系统包括干燥腔(S2),供往上述干燥腔(S2)的空气的湿度低于供往干燥无尘室(S1)的空气的湿度,上述除湿装置(40、50)包括:设置在将空气供往干燥无尘室(S1)的供气通路(20)上的主除湿单元(40);以及处理供往干燥腔(S2)的空气的终端除湿单元(50),主除湿单元(40)包括切换为吸附部和再生部的第一吸附部件(43、44)、第一吸附部件(45),终端除湿单元(50)包括第二吸附部件(51、52),上述第二吸附部件(51、52)切换为将干燥无尘室(S1)的空气除湿后供往干燥腔(S2)的除湿部和利用干燥无尘室(S1)的空气再生的再生部。
地址 日本大阪府