阵列型微机电可变光衰减器

摘要

本发明提供了一种阵列型微机电可变光衰减器。该阵列型微机电可变光衰减器通过使用固定遮光板与可动遮光块相结合的方法，有效低控制了光的散射和光束尺寸，实现了良好的光衰减性能。

主权项

一种阵列型微机电可变光衰减器，其特征在于，包括：固定遮光板，其中心区域具有通光孔阵列，包含若干个固定通光孔；可控遮光板，键合于所述固定遮光板的下方，其中心区域具有与所述通光孔阵列对应的可动遮光块阵列，该可动遮光块阵列中的每一可动遮光块单元包括：可动遮光块，悬空设置，正对其对应的固定通光孔，通过位于两侧的弹性梁连接至衬底；磁场产生装置，位于所述可控遮光板的下方或上方，或可控遮光板的外围，用于产生垂直于所述固定遮光板和可控遮光板所在平面的轴向磁场；驱动电路，通过金属引线分别电性连接所述可动遮光块阵列中的每一可动遮光块单元可动遮光块的弹性梁；其中，输入光纤阵列中的各光纤插入该固定通光孔阵列相应的固定通光孔中，输出光纤阵列位于所述可控遮光板的下方，其各光纤分别与输入光纤阵列的各个光纤相对准；对于所述可控遮光板中的每一可动遮光块单元而言，在驱动电路的驱动下，可控遮光板的弹性梁上通过电流，电流与所述轴向磁场作用产生洛伦兹力，在洛伦兹力作用下，弹性梁会发生形变，从而使相应的可动遮光块在平衡位置附近运动，从而改变由输入光纤经由固定遮光板上相应的通光孔、可动遮光块进入相应输出光纤的光通量。