FOUP结构和FOUP清洁方法

摘要

本发明公开了一种FOUP结构和FOUP清洁方法，通过在FOUP两侧侧板的内侧设置一根进气管和一根出气管，形成气体的单向流动通道，且进气管和出气管自上而下开设多个进气口和出气口，使得气流可以均匀分布于纵向空间，同时吹扫到FOUP上部和下部的晶圆，且气流相较现有技术更加平稳、均匀，提高了FOUP内晶圆的清洁均匀性和清洁效率、清洁效果。

主权项

一种FOUP结构，其特征在于：其包括设有开口的前板、与前板相对的后板、两侧的侧板以及顶板和底板，所述一个侧板的内侧设有从底板延伸至顶板的进气管，而另一个侧板的内侧设有从底板延伸至顶板的出气管，所述进气管自上而下开设有多个进气口，所述出气管自上而下开设有多个出气口。