检测发光器件混色缺陷的装置

摘要

本实用新型提供的检测发光器件混色缺陷的装置，涉及半导体器件制造领域，通过增设光源及与其匹配的滤镜，即可在对诸如OLED等发光器件的混色缺陷检测工艺中，利用该光源及滤镜对发光区以外的区域所产生的干扰光线进行互补，以消除该干扰光线，进而使得采集的图像中，将发光区图像与其他区域图像予以区分，进而消除混色等缺陷，在增强后续对发光范围的分析判定精准度的同时，还大大提高了检测工艺的工作效率。

主权项

一种检测发光器件混色的装置，其特征在于，发光器件设置有发光区和背材区，所述装置包括：机台，所述发光器件固定设置在所述机台上；激励光源，设置于所述机台的上方，照射所述发光器件，以激励该发光器件发光；有色光源，设置于所述机台的上方，照射所述发光器件，以滤除所述背材区产生的干扰光线；以及数字图形获取装置，设置于所述发光器件的上方，以获取并分析所述发光器件发光时的数字图形。