| 发明名称 | 一种封装晶圆阵列微探针全自动测试系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种封装晶圆阵列微探针全自动测试系统，包括运动平台、承片台、视觉模块、运动控制卡、探针卡模块、四线式线材测试机和电脑，其中，承片台、视觉模块以及探针卡模块安装在运动平台上，随着运动平台一起运动，运动控制卡控制运动平台的运动，探针卡模块与四线式线材测试机连接，电脑与运动控制卡以及四线式线材测试机连接。 | ||
| 申请公布号 | CN204595163U | 申请公布日期 | 2015.08.26 |
| 申请号 | CN201520310771.0 | 申请日期 | 2015.05.14 |
| 申请人 | 中南大学 | 发明人 | 李军辉;葛大松;张潇睿;田青;朱文辉 |
| 分类号 | G01R31/28(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙) 43213 | 代理人 | 周志中 |
| 主权项 | 一种封装晶圆阵列微探针全自动测试系统，包括运动平台、承片台、视觉模块、运动控制卡、探针卡模块、四线式线材测试机和电脑，其中，承片台、视觉模块以及探针卡模块安装在运动平台上，随着运动平台一起运动，运动控制卡控制运动平台的运动，探针卡模块与四线式线材测试机连接，电脑与运动控制卡以及四线式线材测试机连接。 | ||
| 地址 | 410000 湖南省长沙市岳麓区左家垅 | ||