一种钛合金表面纳米Ti/TiN梯度膜及其制备方法

摘要

一种钛合金表面纳米Ti/TiN梯度膜及其制备方法，属于材料技术领域，梯度膜为Ti基TiN纳米粒子梯度膜，TiN纳米粒子镶嵌在Ti基体薄膜中，TiN纳米粒子的体积分数沿基体到膜表面方向梯度增加，总厚度在2.5~6.0μm。制备方法为：（1）将基体在真空条件下加热保温；（2）氩气压力为0.3~0.6Pa，进行离子轰击清洗表面；（3）向基体沉积Ti附着层；（4）通入氮气，向具有Ti附着层的基体表面沉积TiN，沉积TiN过程分为5~10级，氮气与氩气的流量比逐级增大，沉积时间逐级加长。本发明的产品与基体存在天然良好的晶格匹配关系以及结合性；表面光滑，致密度高，有利于提高抗磨损性能；制备工艺简单，易于操作。

主权项

一种钛合金表面纳米Ti/TiN梯度膜，为Ti基TiN纳米粒子梯度膜，TiN纳米粒子镶嵌在Ti基体薄膜中，其特征在于：TiN纳米粒子的体积分数沿基体到膜表面方向梯度增加，总厚度在2.5~6.0μm。