玻璃基板移载装置

摘要

本发明为一种玻璃基板移载装置，供于多个反应炉内，置入或取出一石英架，其包含一轨道、一台车、一旋转组件与一伸缩取物架，其中该多个反应炉分设于该轨道的两侧，该台车设有四轨道轮，该四轨道轮设于该轨道上，且该台车设有多个马达，该多个马达同步驱动该四轨道轮，而该旋转组件设置于该台车，且该伸缩取物架设置于该旋转组件上，因而通过该台车于该轨道上的走行与该台车的转动，即可让该伸缩取物架依序对准该多个反应炉，以伸入该反应炉内而置入或取出该石英架，据此增加可对应使用的反应炉数量，而充分发挥该玻璃基板移载装置的利用效率，且台车于该轨道上通过该多个马达的同步驱动而快速走行，故可增加产量，满足使用上的需求。

主权项

一种玻璃基板移载装置，供于多个反应炉内，置入或取出一石英架，其特征在于，包含：一轨道，该多个反应炉分设于该轨道的两侧；一台车，该台车设有四轨道轮，该四轨道轮设于该轨道上，且该台车设有多个马达，该多个马达同步驱动该四轨道轮；一旋转组件，该旋转组件设置于该台车；以及一伸缩取物架，该伸缩取物架设置于该旋转组件上；其中，该伸缩取物架具有依序迭设的一固定座、一滑移板与一取物部，该固定座固定于该旋转组件上，该滑移板滑设于该固定座上，而相对线性位移而伸出该固定座之外，该取物部滑设于该滑移板上而相对线性位移而伸出该滑移板之外，该固定座设置一滑移马达与一滑移齿轮箱，该滑移马达通过该滑移齿轮箱的变速传动而让该滑移板相对该固定座线性位移；其中，该取物部包含一立柱与一载板，该载板上下移动的滑设于该立柱上，且该立柱滑设于该滑移板，而使该载板伸出该滑移板之外，该立柱设置一立柱马达、一立柱齿轮箱、一导螺杆与一螺帽，该立柱马达通过该立柱齿轮箱驱动该导螺杆，以让该导螺杆上的该螺帽带动该载板上下位移。