真空夹具

摘要

本发明揭示了一种真空夹具，包括一夹具本体，夹具本体上开设有数段凹槽，每段凹槽为独立的凹槽区，每段凹槽内开设有贯穿夹具本体的第一真空孔，各段凹槽内分别设置有密封件，每一密封件开设有第二真空孔，第二真空孔与该段凹槽内的第一真空孔相连通，各第一真空孔分别与一组管路结构相连接，每一组管路结构包括排气管路和进气管路。本发明通过设置数段彼此独立的凹槽，这样即使其中一段凹槽发生真空泄漏，也不会影响真空夹具夹持硅片，此外，本发明通过设置进气管路，实现了硅片上下两个平面之间的气体压强差可调，使真空夹具能够稳固、安全地夹持超薄硅片。

主权项

一种真空夹具，其特征在于，包括一夹具本体，所述夹具本体上开设有数段凹槽，每段凹槽为独立的凹槽区，每段凹槽内开设有贯穿夹具本体的第一真空孔，各段凹槽内分别设置有密封件，每一密封件开设有第二真空孔，第二真空孔与该段凹槽内的第一真空孔相连通，各第一真空孔分别与一组管路结构相连接，每一组管路结构包括排气管路和进气管路。