| 发明名称 | 一种电容式等离子体电极的上电极 | ||
| 摘要 | 一种电容式等离子体电极的上电极，为轴对称结构，分为上盖及直筒(25)两部分，上盖及直筒(25)焊接为一体。上盖包括两个直径不同金属直筒、两个内外径不同金属圆环及第一绝缘环(7)。上盖中，小直径金属直筒(41)、小内径金属圆环(42)、大直径金属圆筒(51)、大内径金属圆环(52)、第一绝缘环(7)依次上下同轴布置。第一绝缘环(7)固定在大内径金属圆环(52)的底面。在大内径金属圆环(52)与大直径金属直筒(51)焊接的一面，布置有一对管式加热器电源接入端(24)。直筒(25)外壁的下部布置有冷却液进口(23)，上部有冷却液出口(22)，冷却液通过冷却液进口(23)及冷却液出口(22)与外部循环装置连接。 | ||
| 申请公布号 | CN104869740A | 申请公布日期 | 2015.08.26 |
| 申请号 | CN201510257140.1 | 申请日期 | 2015.05.20 |
| 申请人 | 中国科学院电工研究所 | 发明人 | 刁宏伟;王文静;赵雷;周春兰;王光红 |
| 分类号 | H05H1/20(2006.01)I | 主分类号 | H05H1/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人 | 关玲 |
| 主权项 | 一种电容式等离子体电极的上电极，其特征在于，所述的上电极为轴对称结构，分为上盖及直筒(25)两部分，上盖及直筒(25)焊接为一体；所述的上盖包括两个直径不同金属直筒、两个内外径不同金属圆环及第一绝缘环(7)；上盖中，小直径金属直筒(41)、小内径金属圆环(42)、大直径金属圆筒(51)、大内径金属圆环(52)、第一绝缘环(7)依次上下同轴布置；第一绝缘环(7)固定在大内径金属圆环(52)的底面；在大内径金属圆环(52)与大直径金属直筒(51)焊接的一面，布置有一对管式加热器电源接入端(24)；所述的直筒(25)外壁的下部布置有冷却液进口(23)，上部有冷却液出口(22)，冷却液通过冷却液进口(23)及冷却液出口(22)与外部循环装置连接；所述的大直径金属直筒(51)的内腔为小容积空间(5)，第一绝缘环(7)的内腔为大容积空间(6)；大容积空间(6)和小容积空间(5)连通，用于气体缓冲。 | ||
| 地址 | 100190 北京市海淀区中关村北二条6号 | ||