| 发明名称 | 液晶显示面板阵列基板及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种液晶显示面板阵列基板的金属布线及其制作方法，包括如下步骤，首先连续沉积多层金属膜，然后蚀刻该金属膜形成金属布线，使其具有倾斜侧边包含有一曝露面，接着采用氢气的等离子体处理该金属布线的倾斜侧边，然后再采用氮气的等离子体处理该倾斜侧边，在金属布线的曝露面形成氮化铝的薄膜。 | ||
| 申请公布号 | CN102645807B | 申请公布日期 | 2015.08.26 |
| 申请号 | CN201210103318.3 | 申请日期 | 2012.04.10 |
| 申请人 | 深超光电(深圳)有限公司 | 发明人 | 许民庆;高翔 |
| 分类号 | G02F1/1362(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/1362(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 | 代理人 | 徐丽昕 |
| 主权项 | 一种液晶显示面板阵列基板的金属布线制作方法，包括如下步骤：连续沉积金属膜以形成多层金属膜；蚀刻该多层金属膜形成具有倾斜侧边的金属布线，在所述的倾斜侧边包含一曝露面；采用氢气的等离子体处理该金属布线的倾斜侧边；然后再采用氮气的等离子体处理该倾斜侧边，在所述的曝露面形成一氮化铝薄膜。 | ||
| 地址 | 518109 广东省深圳市宝安区龙华街道办民清路深超光电科技园A栋 | ||