发明名称 |
掩模版的固定装置及其固定方法 |
摘要 |
本发明提出一种掩模版的固定装置,掩膜版包括多个第一导磁部。固定装置包括承载部和多个吸附模块。承载部承载掩膜版。多个吸附模块固定于承载部,每个吸附模块于第一导磁部的位置一一对应。每个吸附模块包括电磁铁,当电磁铁通电时,产生磁场将第一导磁部吸附在承载部上。电磁铁可以被第一磁铁和第二磁铁替代,第一磁铁或第二磁铁可改变磁极方向,当第一磁铁和第二磁铁磁极方向相同时,产生磁场将第一导磁部吸附在承载部上。本发明提出一种掩膜版的固定装置,通过磁力吸附的方式将掩膜版固定在固定装置上,制作简单,使用可靠,控制方便。 |
申请公布号 |
CN102566336B |
申请公布日期 |
2015.08.26 |
申请号 |
CN201010618390.0 |
申请日期 |
2010.12.30 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
黎刚生;齐芊枫;顾鲜红 |
分类号 |
G03F9/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F9/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种掩模版的固定装置,所述掩模版包括至少3个第一导磁部,其特征是,包括:承载部,承载所述掩模版;以及至少3个吸附模块,对应于所述第一导磁部,每个所述吸附模块包括:第一磁铁;以及第二磁铁,所述第一磁铁或第二磁铁可改变磁极方向,当所述第一磁铁和第二磁铁磁极方向相同时,产生磁场将所述第一导磁部吸附在所述承载部上;所述吸附模块与所述承载部的上表面不齐平,存在距离T,且所述吸附模块并不直接接触所述掩模版。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张东路1525号 |