| 发明名称 | 碳氟聚合物的化学气相沉积 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用于在结构体的表面上形成碳氟聚合物的方法。引导原料气体通过多孔加热构件，所述构件具有的温度足以裂解所述原料气体并产生位于邻近在其上形成碳氟聚合物的结构体表面的位置处的反应性物质，所述反应性物质包含(CF<sub>2</sub>)<sub>n</sub>基团，其中n＝1或2。保持结构体表面的温度低于多孔加热构件的温度，从而引起(CF<sub>2</sub>)<sub>n</sub>基团(其中n＝1或2)在结构体表面上的沉积和聚合。 | ||
| 申请公布号 | CN104870687A | 申请公布日期 | 2015.08.26 |
| 申请号 | CN201380067246.4 | 申请日期 | 2013.12.18 |
| 申请人 | 吉列公司 | 发明人 | A·V·朱克;N·桑能伯格 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I;B05D1/00(2006.01)I;B26B21/60(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 王颖;陈文青 |
| 主权项 | 一种用于在结构体的表面上形成碳氟聚合物的方法，所述方法包括以下步骤：·引导原料气体通过多孔加热构件，所述构件的温度足以裂解所述原料气体以产生反应性物质，所述反应性物质包含(CF<sub>2</sub>)<sub>n</sub>基团，其中n＝1或2，并且选择性地促进(CF<sub>2</sub>)<sub>n</sub>聚合，所述反应性物质位于邻近在其上形成所述碳氟聚合物的结构体表面的位置处；以及·保持所述结构体表面的温度低于所述多孔加热构件的温度，从而引起所述(CF<sub>2</sub>)<sub>n</sub>基团(其中n＝1或2)在所述结构体表面上的沉积和聚合。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||