| 发明名称 | 一种硅片脱胶剂、其制造方法和使用方法 | ||
| 摘要 | 一种硅片脱胶剂，其含有如下重量份数的组分，有机酸20～60％；表面活性剂0.5～5％；有机溶剂5～40％；水15～75％；缓蚀剂0～2％；消泡剂0～2％。本发明提供了一种脱胶速度快、无刺激性气味、成本低、腐蚀性弱而且能够有效的降低破片崩边率、对下道清洗工序提供优良预清洗效果的硅片脱胶剂，以解决现有脱胶剂的脱胶效果差、脱胶成本高且腐蚀性强的缺陷。 | ||
| 申请公布号 | CN104862134A | 申请公布日期 | 2015.08.26 |
| 申请号 | CN201510141671.4 | 申请日期 | 2015.03.27 |
| 申请人 | 武汉宜田科技发展有限公司 | 发明人 | 洪育林;张旭;张震;张冠;刘辉 |
| 分类号 | C11D10/02(2006.01)I | 主分类号 | C11D10/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种硅片脱胶剂，其特征在于：其含有如下重量份数的组分，<img file="FDA0000689528200000011.GIF" wi="616" he="733" /> | ||
| 地址 | 438400 湖北省黄冈市红安县经济开发区新型产业园 | ||