晶圆清洗装置

摘要

本发明揭示了一种晶圆清洗装置，包括清洗腔、清洗刷、滚轴和滚轮，清洗刷安装在清洗腔内，滚轴的第一端位于清洗腔内，滚轮安装在滚轴的第一端上，该滚轴的第二端延伸到清洗腔外并连接到驱动轮，驱动轮驱动滚轴转动。该晶圆清洗装置还包括检测装置，检测装置检测滚轴是否旋转，检测装置收发信号，检测装置根据信号的收发情况判断滚轴是否旋转。本发明通过设置检测装置，由检测装置通过信号的收发来判断滚轴是否在正常转动。在晶圆清洗过程中，能够检测带动晶圆旋转的滚轮及滚轴是否在转动，从而使晶圆的清洗效果能够得到保障，提升器件的合格率。

主权项

一种晶圆清洗装置，包括清洗腔、清洗刷、滚轴和滚轮，清洗刷安装在清洗腔内，滚轴的第一端位于清洗腔内，滚轮安装在滚轴的第一端上，该滚轴的第二端延伸到清洗腔外并连接到驱动轮，驱动轮驱动滚轴转动，其特征在于，还包括检测装置，所述检测装置检测滚轴是否旋转，所述检测装置收发信号，检测装置根据所述信号的收发情况判断滚轴是否旋转。