一种掩膜板及其制备方法、显示面板、显示装置

摘要

本发明公开了一种掩膜板及其制备方法、显示面板、显示装置，本发明通过对掩膜板进行改进，具体地，对掩膜板的每个开口的至少部分侧切面与蒸镀时靠近基板一侧的表面的交界处设置有缺口，该缺口使用化学刻蚀或者激光切割方法实现，该缺口能够使得蒸镀时开口靠近基板一侧的面积大于开口远离基板一侧的面积，从而，增大了基板上蒸镀的膜层边缘区域的面积，提升了边缘区域的平坦化程度，避免了后续形成的金属膜层由于台阶过高而发生断裂的可能，提高了产品的良率。

主权项

一种掩膜板，用于对基板进行蒸镀，包括遮挡板，所述遮挡板上分布有若干个预设形状的开口，每个开口均由遮挡板厚度方向上侧切面包围，其特征在于，在包围所述开口的至少部分所述侧切面与蒸镀时靠近基板一侧的表面的交界处上设置有缺口，使得所述开口靠近基板一侧的面积大于所述开口远离基板一侧的面积。