一种负性化学放大光刻胶及其成像方法

摘要

本发明提供一种新型负性化学放大光刻胶及其成像方法，该负性化学放大光刻胶含有苯酚类树脂、光致产酸剂、交联剂、碱性添加剂、敏化剂和光刻胶溶剂。其中苯酚类树脂是所述新型负性化学放大光刻胶的主体材料，光致产酸剂是在光照时能够产生一定强度的酸，交联剂能够与酚羟基或邻/对位羟甲基官能团发生缩和反应。在所述新型负性化学放大光刻胶成像方法中包括涂布、烘烤、曝光、烘烤和显影等步骤。本发明所述的化学放大负性光刻胶，可以有效提高光刻胶的分辨率及感光速度，同时与正性光刻胶所用的试剂相同，适用于高档集成电路、平板显示及半导体照明芯片制造等领域。

主权项

一种负性化学放大光刻胶，其包含苯酚类树脂、光致产酸剂、交联剂、碱性添加剂、敏化剂和光刻胶溶剂；所述交联剂能够与酚羟基或邻/对位羟甲基官能团发生缩和反应；所述苯酚类树脂、光致产酸剂、交联剂、碱性添加剂、敏化剂和光刻胶溶剂的质量配比为23‑26：1‑4：28‑32：1‑2：1.5‑2：65‑75。