用于碳离子注入的掺杂物组合物的储存和负压输送

摘要

提供用于输送含CO的掺杂物气体组合物的供应源。所述组合物包括控制量的稀释剂气体混合物例如氙气和氢气，其各自以控制的体积比率提供以确保最佳的碳离子注入性能。所述组合物可包装为由含CO的供应源和稀释剂混合物供应源组成的掺杂物气体套件。备选地，所述组合物可预先混合并从单一来源引入，所述单一来源可响应沿排流路径所达到的负压条件而启动以允许掺杂物混合物从所述装置的内部体积受控流入离子源设备中。

主权项

掺杂物气体混合物的单一供应源，其包含：一种或更多种的含碳掺杂物源气体，其以预先确定的浓度与稀释剂气体混合物预先混合，所述一种或更多种的含碳源至少包含CO，且所述稀释剂气体混合物包含惰性气体和含氢气体；和负压输送和储存装置，其用于维持在所述装置的内部体积内的所述掺杂物气体混合物处于加压状态，所述输送装置与排流路径是流体相通的，其中所述输送装置响应沿所述排流路径所达到的负压条件而启动以允许所述掺杂物组合物从所述装置的内部体积受控流出。