基于太赫兹时域光谱技术的塑料薄膜厚度检测装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于太赫兹时域光谱技术的塑料薄膜厚度检测装置，包括飞秒激光器、第一反射镜、分束器、光学延迟线、第二反射镜、太赫兹发射器、第一抛物面镜、IR滤波器、样品台、太赫兹探测器、第三反射镜、第四反射镜、太赫兹时域系统控制器和计算机；还包括检测方法：分别采集太赫兹波透过空气和被测塑料薄膜的信号，设定塑料薄膜初始厚度，代入薄样品的太赫兹传输函数模型计算其折射系数，随后运用傅里叶变换将折射系数信号变换到准空间，并求准空间中信号幅度的峰值；不断修改厚度值，直至准空间信号幅度峰值达到最小，得出塑料薄膜的厚度；本发明能够解决目前塑料薄膜厚度检测准确性较差的问题，可实时快速准确地检测塑料薄膜厚度。

主权项

一种基于太赫兹时域光谱技术的塑料薄膜厚度检测装置，其特征在于，飞秒激光器(1)发射激光经第一反射镜(2)之后照射到分束器(3)上，被分成两束，其中一束激光经光学延迟线(4)和第二反射镜(5)后照射到太赫兹发射器(6)上产生太赫兹波，产生的太赫兹波经第一抛物面镜(7)后被聚，透过IR滤波器(8)后聚焦到样品台(9)上，透过样品后被第二抛物面镜(10)重新聚焦到太赫兹探测器(11)上；另一束激光经第三反射镜(12)和第四反射镜(13)后透过第二抛物面镜(10)上预留的小孔与第二抛物面镜(10)聚焦后的太赫兹波共线地照射到太赫兹探测器(11)上；太赫兹探测器(11)的输出的信号经太赫兹时域系统控制器(14)被传送到计算机(15)进行进一步的数据处理；所述的计算机(15)通过太赫兹时域系统控制器(14)控制光学延迟线(4)；所述太赫兹时域系统控制器(14)通过一束调制激光控制IR滤波器(8)。